ASML cam kết giao hàng các chip sản xuất hàng loạt đầu tiên trên nền tảng High‑NA EUV ngay trong năm nay

Tóm tắt tin tức về hệ thống lithography của ASML

Chủ đề và lý do tại sao khách hàng chính
Cho đến nay, Intel vẫn được coi là khách hàng chủ yếu của các hệ thống High‑NA EUV cao cấp của ASML. Công ty đã sử dụng chúng trong các thử nghiệm liên quan đến chuyển sang công nghệ 14 nm.

Kế hoạch của ASML
Nhà sản xuất thông báo rằng những mẫu đầu tiên được chế tạo trên các máy quét này sẽ xuất hiện “trong vài tháng tới”.

Lịch sử mua sắm của Intel
• Vào giữa năm 2023, Intel bắt đầu mua bộ TwinScan EXE:5000 cho việc nguyên mẫu.
• Sau đó, họ đặt chỗ toàn bộ số lượng máy quét High‑NA cho năm 2024.
• Đến cuối năm 2025, hệ thống đầu tiên của dòng EXE:5200 đã được lắp đặt, có tiềm năng thích hợp cho sản xuất hàng loạt.

Lợi ích của thiết bị
• Giảm các tham số hình học của linh kiện bán dẫn.
• Tăng mật độ transistor trên tinh thể → chip nhanh hơn.
• Xử lý tới 220 tấm silicon mỗi giờ.

Chiến lược của Intel
Trong sản xuất hàng loạt, High‑NA EUV sẽ chỉ được áp dụng ở những giai đoạn quan trọng, chứ không phải ngay lập tức cho tất cả các lớp chip.

Tình trạng tại đối thủ
• TSMC hiện đang xem xét công nghệ từ xa, coi nó quá đắt.
• Samsung Electronics và SK hynix dần dần triển khai các máy quét tương tự của ASML để không tụt lại phía sau Intel. Các thiết bị này sẽ hữu ích cho cả chip logic lẫn bộ nhớ.

Nhận định lãnh đạo ASML
Giám đốc điều hành Christophe Fouquet đã nhận xét tại sự kiện Imec: “Trong vài tháng tới, chúng ta sẽ thấy những sản phẩm đầu tiên – cả trong lĩnh vực logic và bộ nhớ – được xử lý trên các hệ thống High‑NA”.

Chi phí
Một hệ thống của ASML giá gần 400 triệu đô la. Mặc dù có giá cao, nó giảm chi phí thiết bị cho việc phơi sáng mẫu ảnh và tăng tốc độ sản xuất chip.

Như vậy, Intel tiếp tục dẫn đầu trong việc sử dụng High‑NA EUV, trong khi Samsung và SK hynix đã bắt đầu triển khai thiết bị tương tự để không tụt lại phía sau trong cuộc đua với các bộ xử lý nhanh hơn và mật độ cao hơn. ASML chuẩn bị đưa những sản phẩm hàng loạt đầu tiên ra thị trường trong vài tháng tới.